快科技8月7日音书，日前，河南东微电子材料有限公司（以下简称"东微电子"）晓示，其自主研发的光刻机用直线电机、光源、光纤、磁座等要道零部件，发达通过中芯国际和长鑫存储严格认证。

东微电子暗意，这不仅是一次本领突破，更是中国半导体产业链国产化程度中迈出的坚实一步。

据了解，2021年12月，国度五部门引诱发布的《首要本领装备和家具入口要道零部件、原材料商品目次（2021年版）》明确将光刻机用直线电机列为要道“卡脖子”技俩，直线电机的制造和坐褥本领对我国冲破外洋光刻机本领附近具有进攻道理。

东微电子组建本领攻坚团队，历经多年策动，对光刻机用要道零部件的特等性能成见、顶点使用环境和精密制备工艺发起全面攻关，对标国际顶尖，责罚国产痛点。

据先容，直线电机是光刻机开通平台的中枢零部件。

光刻机需将电路图案以纳米级精度“雕塑”在硅片上，直线电机径直运转职责台和掩模台进行高速、超精密直线开通，其性能决定了定位精度和开通清醒性。

跟着芯片制程参加纳米期间，传统旋转电机+传动机构的形势已难以隆盛，直线电机凭借径直运转、无机械损耗、反应快、精度高档上风成为唯独接受。

高端光刻机用直线电机本领门槛极高，国内市集严重依赖入口。

东微电子官网袒露，公司于2018年落户河南省郑州市航空港推行区，并在上海、北京、无锡、厦门等地设有研发坐褥基地。

公司奋勉于于成为高端集成电路制造用材料和修复零部件一站式劳动平台，为中国半导体责罚费劲。

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